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半导体巨头 Intel 在“先进工艺”上的“新动作”有哪些?

2017-04-05 09:03 浏览:849 来源:EETIMES   

英特尔对于其10nm节点透露了比以往更多的细节。x86巨头需要通过对比竞争对手台积电和三星正在进行的10nm工艺,更进一步地展示其优势,

具体而言,英特尔的10nm节点包括:

● 34nm鳍片间距

● 53nm 鳍片高度

● 36nm 最小金属间距

● 272nm 单元高度

● 54nm 栅极间距

英特尔声称,节点展现了行业中最紧密的栅极间距和金属间距,标志着行业首次使用自对准四重图案成形技术(self-align quad patterning)。相比于14nm节点时,FinFET(鳍式场效应晶体管)的高度和密度提高了25%。

英特尔描述了晶体管的两个创新,以补偿更多光刻图案步骤带来的成本上涨。有源栅极上接触(contact-over-active-gate,COAG)有助于提供额外10%的密度;10nm时,单个而不是双虚拟栅极提供了额外的缩放优势。

半导体巨头 Intel 在“先进工艺”上的“新动作”有哪些?

英特尔声称其10nm工艺的节点密度是其竞争对手的两倍。(图片来源:英特尔)

对10nm不吝赞美,对度量方法褒贬不一

分析师对英特尔的10nm节点印象深刻,但对于晶体管密度是否是衡量竞争节点的最佳指标褒贬不一。他们表示,在28和16nm竞争日益激烈的情况下,现在还不清楚谁会赢得这一重大前沿业务。

市场观察家VLSI研究公司总裁G. Dan Hutcheson表示:“现在是时候摆脱这些利用节点名称搞的市场营销手段了,让大家看看节点的真面目……摩尔定律总是关于密度。”

他表示,进行芯片级别拆解的独立分析师能够使用公式来检验芯片密度。但是较大的尺寸(例如cm2)将使得对照更接近真实SoC的大小。

Gartner半导体集团研究副总裁Bob Johnson说:“我们需要客观地比较节点名称的扩展,显示出与它们的名称无关的维度。”

台积电的一位发言人说,先前基于栅极密度的度量方法比现在基于单元高度要好得多。

她表示:“我不知道英特尔如何进行新的计算。它的Broadwell(第一代14nm CPU)每平方毫米有1840万个晶体管,但在新的度量方法下,每平方毫米突然有了3750万个晶体管。他们在玩文字游戏吗?”

台积电发言人还注意到,密度本身并不能直接转化为芯片尺寸。她说,布局和其他设计规则都是影响芯片尺寸和竞争力的重要因素。

分析师Hutcheson表示:“看到英特尔10nm工艺中的数字,我震惊了。”

Linley集团的David Kanter同意这种观点,他表示:“这是令人印象深刻的密度……但英特尔提出的观点不到生产就无法证实。然而,英特尔的制造工艺会继续领先,问题是转化到产品中的是什么。”

Kanter 称赞英特尔的COAG晶体管进步。然而,直到公司发布如何制造COAG器件,才能清楚能否将该设计作为一种优化接触电阻的新方法,进而区分其工艺。

对于新的22FFL,Hutcheson指出,Globalfoundries 和英特尔的代工团队都面临着来自竞争对手在IP(知识产权)方面的挑战,例如台积电在28nm的IP。

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英特尔对于其10nm工艺透露了不同以往的大量细节

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