进口不锈钢EP级减压器

性能描述 Performance description

不锈钢母体，膜片式硬密封，侧漏率低 -内部电解抛光 -高清洁的组装和包装适用于高纯度的半导体产业 -使用寿命长，经过氦气测试

设计特点DESIGN FEATURES

适用于高纯度工艺气体的气路系统

100%功能性和氦气泄漏测试

标准CV0.9,大流量(HF)CV1.1/(FC)CV0.65(可选)

标准SUS316L,Hastelloy°C-22膜片(可选)

组装，测试和包装，在百级洁净室

内部电解抛光，面粗度Ra 0.25μm

容积17.6cc

标准SUS316L,SUS316LVAR母体材料(可选)

可采用面板安装和底座安装

单级式减压结构

母体与膜片采用硬密封形式母体连接：焊接/活接

内部结构易吹扫-内设过滤网

可采用面板式安装或墙式安装

特性参数 CHARACTERISTIC PARAMETERS

输入压力：500Psig,3000Psig

输出压力：0~25,0~50,0~100,0~250,0~500

安全测试压力：1.5倍的输入压力

适用温度：-40°F至+446°F,-40℃至330℃

泄漏率：  2x10-8 atm cc/sec He

Cv值：0.08

母体；316L

上盖：316L

膜片：316L,C276

过滤网：316L(10um)

阀座：PCTFE,PTFE,Vespel

弹簧：316L

阀芯顶杆：316L

适用范围：实验室/气相色谱仪/气体激光器气体汇流排/石油化学工业/测试设备