晋升第二大市场 大陆做强半导体装备产业更待何时

据中科院微电子所所长叶甜春介绍，在关键装备和材料方面，我国实现了从无到有的跨越，大部分产品水平达到28nm，部分产品进入14nm，被国外生产线采用；国产设备验证和应用整体累积流片突破150万片，销售数量超过265台。从工艺分布上看，国产设备横跨了12英寸集成电路生产线90nm～14nm各个技术节点的关键性工艺大类，并基本与国内14nm先进工艺研发同步进行验证。不过，叶甜春同时也强调，当前国产装备产业化程度还不够。

SEMI中国区总裁居龙针对中国大陆半导体设备投资大幅度增长的情况也提出警告，尽管中国大陆半导体投资大增，中国大陆设备厂的供应能力却严重不足。这主要表现为产化率偏低，国产设备的产业化能力还远不能满足市场需求。

而根据海通证券发布的一份报告中的数据，一条总成本约10亿美元的8英寸生产线，设备成本占6.5亿美元，国产设备约占据6500万美元。在12英寸生产线上，设备国产率约5%；成熟一些的90nm生产线的设备国产率可以达到8%。

在半导体薄弱环节应重点布局

针对当前发展态势，北方华创科技集团股份有限公司高级副总裁、首席战略官张国铭指出：“从历史上看，每一次市场转移都为配套产业的发展带来机遇。全球一流的半导体制造商和我们本土优秀的半导体芯片制造企业的技术与产能扩张必将带动本土设备技术的发展，与国际一流客户在地域上的亲近以及良好的服务体系无疑为本土设备商协同客户发展提供了极好的契机。”

上海兆芯集成电路有限公司副总裁傅城表示，我国这些年来扶持发展了一些设备企业。当前，这些企业的首要任务就是立足国内市场。在过去的十几年中，国内半导体设备市场并不大，在2015年以前基本上每隔2～3年才会发布一家12英寸或8英寸项目。这样的市场规模，很难喂饱一家规模设备企业。现在随着多个大型项目的发布，至少在市场层面上规模在扩大，如果每年启动3～4条生产线的建设，并保持这种成长速度，相信3～5年后支撑起5～6家国内设备企业是有可能的。

傅城还指出，培育国产设备企业成长需要一定的政策倾斜。比如规定在符合设备规格条件的情况下，至少要有一半设备从国内供应商采购。这样就会给国有设备厂商一个成长的机会。设备厂的成长需要有适当的商业环境，资金、人才、技术的积累都需要一个过程。

叶甜春则特别强调了中国发展半导体产业需要建立完整的产业链条，不应出现明显的短板。随着集成电路复杂度的提高，其测试的复杂度也水涨船高，半导体测试设备的重要性正在不断提升，而目前中国，尤其在半导体检测及测试技术领域基础还很薄弱。

因此，未来中国应在几个重要且又相对薄弱的产业链环节上重点布局，通过重大专项以及产业链各环节密切互动等方式对弱势环节加以培育，同时要重视国际合作，尤其应鼓励和支持高端合作，以满足产业快速发展的需求。