JUO
聚焦探测法是表面形貌非接触测量中的主要方法之一.然而.由于在聚焦伺服系统中采用了音圈电机.传统的聚焦探测传感器的测量精度较为有限.本文介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器.因为没有采用音圈电机而是采用压电陶瓷驱动器.所以这种自带衍射光栅计量系统的传感器具有更高的精度.在测量工件表面形貌时.压电陶瓷驱动器驱动聚焦物镜进行垂直位移.从而确保在每一个采样间隔中焦点总是落在工件表面上,同时使得聚焦误差信号回零.该非接触式位移传感器的分辨率为10nm.
压力传感器
泵零件
压力传感器
压力传感器
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压力传感器 泵零件 0 281 006 325 0 281 006 325
压力传感器 泵零件 0 281 002 410 0 281 002 410
压力传感器 泵零件 0 281 002 410 0 281 002 410
压力传感器 泵零件 0 281 002 214 0 281 002 214
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传感器 泵零件 85PP40-02 85PP40-02
传感器 泵零件 499000-6160 499000-6160
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压力传感器 泵零件 压力传感器 压力传感器
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压力传感器 泵零件 0 281 002 214 0 281 002 214
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油门位置传感器 泵零件 油门位置传感器 油门位置传感器
轴压传感器 泵零件 314014A400 314014A400
转速传感器 泵零件 转速传感器 转速传感器
转速传感器 泵零件 转速传感器 转速传感器
转速传感器 泵零件 转速传感器 转速传感器 压力传感器
轨压传感器 泵零件 轨压传感器 轨压传感器
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