真空镀膜厂中真空系统的工作原理是什么？
 

是不是觉的知道了真空镀膜原理就想着回去试试，先不要着急，来看看真空镀膜中真空系统的工作原理，或许对你更有帮助。

　　真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发。

　　1,粗抽泵(统称机械泵)他的排气口，直接排放到大气，但极限(能力)小。范围(1E0~大气压)。

　　2，罗茨泵，必须在排气口接一个机械泵，工作范围(5E-2~1000Pa),如果没达到工作范围(1000Pa)以上的真空度，运转罗茨泵，使负载大，烧坏罗茨泵的。

　　3，分子泵(油扩散泵)：以扩散泵为例，工作范围(1E-7Pa~5pa)，排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于，扩散泵不起作用，还会使扩散泵油氧化。

　　4，粗抽阀，是机械泵开启后，开启粗抽阀。

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