半导体工业元件和热电元件用纳米碳化硼ZH-B4C-01

纳米碳化硼粉（ZH-B4C-01）通过气溶胶烧蚀法制备，产品纯度高、粒径小、分布均匀，比表面积大、高表面活性，松装密度低，是一种人工合成的超硬质材料，硬度仅次于金刚石，莫氏硬度9.46，显微硬度5600—6200Kg/mm2，比重2.52g/cm3，熔点2250℃，与酸、碱溶液不起反应，具有高化学位、中子吸收、耐磨及半导体导电性。是对酸稳定的物质之一，在所有浓或稀的酸或碱水溶液中都稳定。具有稳定的物理和化学性能，应用于硬质材料的磨削、研磨、钻孔等。

产品参数

产品应用

1.在半导体芯片的等离子体刻蚀工艺中，纳米碳化硼（ZH-B4C-01）被用于制造刻蚀机的关键部件——聚焦环和内壁件。它具有硬度、优异的抗热震性，以及对卤素等离子体（如CF₄、Cl₂）耐腐蚀性。这确保了在苛刻的刻蚀环境中，部件能长时间保持尺寸稳定和低污染，从而保障芯片制造的高精度、高均匀性和高良率。

2.增强热电复合材料性能的关键添加剂在开发其他热电材料（如硅锗合金、碲化铋等）时，引入纳米碳化硼（ZH-B4C-01）作为第二相添加剂，可以有效地散射载热声子，从而大幅降低复合材料的晶格热导率。同时，其本身的导电特性若调控得当，对电导率影响较小。这种“声子散射、电子通过”的效应，能够有效提升基础材料的热电转换效率，是优化热电元件性能的一种重要策略。

包装储存

　　本品为充惰气塑料袋包装，密封保存于干燥、阴凉的环境中，不宜暴露空气中，防受潮发生氧化团聚，影响分散性能和使用效果;包装数量可以根据客户要求提供，分装。

代理经销

安徽中航纳米出产的纳米碳化硼（ZH-B4C-01）面向全国各大代理商和经销商经销，已批量供应于各大工厂。欢迎大家来厂考察交流。　　

技术咨询与索样——安徽中航纳米销售顾问：王 宇