北方华创：依托02专项 为中国半导体装备业添光

四、依托02专项，为中国装备业添光

2017年5月23日，《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目（以下简称02专项）成果发布会在北京举行，在会上笔者了解到，作为国家作02重大科技专项重点承担单位，公司通过一直以来承担重大专项多项课题的科研任务，经过九年攻关，完成了刻蚀机、磁控溅射、氧化炉、低压化学气相沉积、清洗机、原子层沉积等集成电路设备90/55/40/28纳米工艺验证，实现产业化；刻蚀（ETCH）、单片退火系统、化学气相沉积（CVD）三大类集成电路设备进入14纳米工艺验证阶段，首次实现与国外设备同步验证。

到底北方华创的活力来自哪里？让我们来听听听02专项总体组专家的说法。

02专项总体组专家、国家封测联盟秘书长于燮康认为02专项的创新的考核机制为北方华创的发展注力了活力。“下游考核上游，整机考核部件，应用考核技术，市场考核产品”的考核制保证了科研成果的实用性，成就了一大批经得起市场检验的高端产品。

由于北方华创是承担02专项装备项目最多的单位，同时也是零部件的最大用户，因此，公司与上下游交流的机会很多，不但增进了相互信任，也带来了商机。

中芯国际作为02专项创的验证单位，承担了北方华创大部分产品的验证工作，双方建立了紧密的合作关系。中芯国际在开发28纳米工艺初期，根据自身工艺的特点，需要一种单片快速退火设备，国外还没有完全符合要求的成熟产品，基于双方的了解，主动提出由北方华创来开发此设备。双方进行了深入的交流，在不到一年的时间里，成功完成设备开发及工艺验证，相关指标达到国际先进水平，成为中芯国际28纳米生产线基线（baseline）配置产品，实现批量销售。

北京北方华创微电子装备有限公司正是在此严苛的考核机制下，取得了一系列的成果。

2008年3月6日，北方微电子公司自主研制的NMC 612高密度等离子刻蚀机正式进入中芯国际北京12英寸工厂生产线，应用于90-65纳米硅栅刻蚀和浅槽隔离刻蚀等工艺制程。

2013年推出的Polaris T是应用于先进封装领域TSV阻挡层、籽晶层沉积工艺的高性能PVD设备，可面对极具挑战的TSV孔隙填充工艺要求，可以实现5um直径、12:1深宽比TSV深孔的无孔洞电镀填充，兼容12英寸硅、玻璃等多种基片。

2015年exTin H430 TiN PVD设备、eVictor A830 Al pad PVD两款设备进入海外主流芯片企业外，Booster A630单片退火系统、NMC612硅刻蚀设备也成为中芯国际的基线（baseline）机台，实现大生产线的批量生产。

2016年11月推出200mm高性能多功能磁控溅射系统，满足先进封装、微机电系统等多领域制程的发展需求，推出当月就实现销售。

北方华创厂区俯瞰图（图片由北方华创提供）

相信，北方华创将继续发扬“精良品质·卓越服务·中国制造”的企业精神，深耕发展，引领未来，与业界同仁携手合作，助推产业技术进步，带给产业无限可能。

五、抓住机遇求发展，在竞争中取胜

中国集成电路装备和材料在02专项的推动下，在某些领域确实取得了重点突破，可以与海外跨国公司实现同台竞技。但是我们也要看到，重点突破不等于全面突破。我们与海外跨国公司还是存在相当的差距。

根据SEMI报告，2016年全球半导体制造设备的总销售额为412.4亿美元（约合2800亿元人民币），中国成为半导体设备第三大市场，设备销售额达64.6亿美元（约合430亿元人民币）。前十大半导体设备供应商的销售额超过370亿美元，占全球总销售额的90%以上。

实际上，全球半导体设备几乎被美、日所垄断，前十大半导体设备供应商除了光刻设备供应商ASML 位于欧洲荷兰，其他九家都位于美、日。全球半导体设备顶级供应商还没有见到中国厂商的身影。

在“国家集成电路产业投资基金”和地方基金的助推下，国际制造厂商几乎全线挺进中国大陆，不遗余力地进行产能扩张，中国集成电路产业迎来了千载难逢的发展“黄金期”，据估算投入各类资金总量可能达1000亿美元以上。

02专项总体组专家、北方华创科技集团股份有限公司高级副总裁、首席战略官张国铭表示，根据目前各大厂商公布的未来几年在中国大陆扩张的技术规划，未来几年我们在设备技术的发展方向上至少可以在以下几个方面得以突破：16/14纳米及以下的FinFET技术发展，多次曝光技术带来设备技术和设备数量的需求，3D NAND闪存技术所带来的设备需求以及3D封装技术对晶圆级封装设备的需求突破。基于此，北方华创在02专项的支持下，已经开始进行布局，而且取得了相当的成绩。北方华创在28纳米及以上的制程已经实现了批量销售，14纳米已经开始工艺验证，只要我们能够丰富产品种类，拓宽应用领域，满足客户多样化的工艺需求，未来完全有机会在适应性与灵活性上与国际对手从同一起跑线上竞争，并非常有望在市场选择中得以胜出。

六、结语

俗话说，兵马未动，粮草先行。对于国内集成电路产业而言，要实现从跟随者走向引领者的跨越，装备产业是最重要的一个环节。中国集成电路发展任重道远，中国集成电路装备和材料业更是压力山大。

北方华创2016年的营收为16.22亿元（约合2.4亿美元），约占全球半导体设备市场0.58%。根据中国半导体行业协会的数据表明，2015年和2016年公司连续两年入围中国半导体装备五强榜单。
祝福北方华创永攀高峰，再创佳绩。

希望集成电路装备和材料业能挺起中国集成电路的脊梁。