客服热线：
手机版
二维码
亚洲工业网讯： 2017年5月17日,北方华创科技集团股份有限公司(以下简称"北方华创")及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司(以下简称"北方华创微电子")收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项"14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化"项目经费资金9,423.00万元、"28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化" 项目经费资金4,811.00万元及"14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化"项目经费资金4,746.00万元,详细情况如下:
1. “14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目
根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项实施管理办公室下发的《关于02专项2014年度项目立项批复及落实地方配套经费的通知》【ZX02[2014]018号】及其附件,北方华创微电子承担的国家科技重大专项"14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化"项目执行期四年(2014年-2017年),项目经费资金金额合计123,492.06万元,其中,中央财政核定资金总额39,147.34万元,地方政府配套资金41,505.73万元。中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付,本次,北方华创微电子收到地方政府配套资金9,423.00万元。
2. “28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化”项目
根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项实施管理办公室下发的《关于02专项2015年度项目立项批复的通知》【ZX02[2015]018号】及其附件,北方华创承担的国家科技重大专项"28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化"项目执行期四年(2015年-2018年),项目经费资金金额合计55,144.00万元,其中,中央财政核定资金总额16,098.00万元,地方政府配套资金总额19,997.00万元。中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付,本次,北方华创收到地方政府配套资金4,811.00万元。
3. “14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目
根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项实施管理办公室下发的《关于02专项2016年度项目立项批复的通知》 【ZX02[2016]008号】及其附件,北方华创微电子承担的国家科技重大专项"14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化"项目执行期四年(2016年-2019年),项目经费资金金额合计67,842.30万元,其中,中央财政核定资金总额12,893.85万元,地方政府配套资金16,948.45万元。中央财政资金及地方政府配套资金在项目执行期内分批拨付,本次,北方华创微电子收到地方政府配套资金4,746.00万元。
