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破局晶圆封装痛点,真空治具工艺革新
发布时间:2025-10-21        浏览次数:7        返回列表
 在半导体封装领域,0.01mm的胶体偏差可能导致产品失效。传统机械夹持治具易造成晶圆微裂纹、胶体溢流等问题,而东莞路登科技自主研发的第三代晶圆点胶真空治具,通过多腔体负压吸附系统,实现全域吸附力动态均衡,消除物理接触损伤风险。
汽车零部件点胶治具 (2)jpg

三大核心优势直击行业需求

  1. 纳米级定位精度
    采用航空级陶瓷基板与激光微孔阵列技术,吸附孔位密度达200孔/cm2,配合智能气压反馈模块,确保晶圆在高速点胶过程中位移量<3μm,满足5nm制程工艺要求。

  2. 复合材质兼容性
    温控吸附平台(-30℃~150℃可调)可适配硅片、碳化硅、玻璃基板等不同材质,解决异质晶圆封装时的热变形难题。实测显示,在GaN器件封装中良品率提升27%。

  3. 智能化生产集成
    内置工业4.0标准接口,支持与ASM、KUKA等主流点胶设备无缝对接。通过云端数据分析系统,可实时监控吸附压力曲线,自动生成工艺优化建议。

    汽车零部件点胶治具 (1)jpg
    客户见证:从实验室到量产线的价值跃迁

    某头部存储芯片厂商采用本治具后:

    • 点胶工序工时缩短40%(原8分钟/片→4.8分钟/片)

    • 因胶体偏差导致的报废率从1.2%降至0.03%

    • 兼容12英寸晶圆全自动生产线改造,周期<6个月

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